描述
对于客户的Cryonenic应用，我们在Cryogenic Positioning Stage – High Resonance（CPSHR）中添加了一个自定义模块。这样，CPSHR的XYZ定位范围为1 mm3，扩展了z，Rx和Ry范围为几mm的范围。该阶段是无游隙且无摩擦的阶段：具有3个切向弯曲的整体结构。该阶段的驱动是通过JPE的高低温低温线性驱动器：CLA1801-HF执行的。