CUSTOM: CRYO HEXAPOD POSITIONING SYSTEM_北京纳兹精密科技有限公司

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4K低温无磁平台

CUSTOM: CRYO HEXAPOD POSITIONING SYSTEM

产品详情

产品参数

热电联产

描述
低温六足体定位系统（CHPS）是为在低温真空环境中使用而开发的6自由度定位平台。并联运动学导致一个轻而刚性的阶段，具有很高的内部共振频率。这使得样品台的位置对地面振动不敏感。粗略和精细的驱动串联提供了CHPS毫米范围，（亚）nm分辨率，高稳定性和动态定位性能。对称性使工作台位置对热波动高度不敏感。每条腿都装有一个光学编码器，用于控制运动。

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