超薄直线台
A-SVMMS60-X25 微型线性平台
(可支持真空兼容10-5Pa)
A-SVMMS60-X25是一款超小体积25mm直线位移台,伺服电机+丝杠+光栅的直线传动结构,集成度非常高的一款线性位移台,可实现50nm最小位移量,有一定自锁力可应用于Z轴。可装组成XYZ位移台。
应用于光纤和光子元件的3D对准,精密自动化领域。