混合式压电陶瓷平台

产品详情
混合式压电陶瓷平台,基本于惯性压电陶瓷和叠堆压电陶瓷组合而成,可满足毫米行程的同时满足高频率的扫描,提供更大范围的扫描,可应用于AFM领域。
惯性压电陶瓷和叠堆陶瓷都可以使用相同的反馈信号
用于闭环定位。通过将两者的机械零件和驱动信号组合在一起
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