混合式压电陶瓷平台，基本于惯性压电陶瓷和叠堆压电陶瓷组合而成，可满足毫米行程的同时满足高频率的扫描，提供更大范围的扫描，可应用于AFM领域。
惯性压电陶瓷和叠堆陶瓷都可以使用相同的反馈信号
用于闭环定位。通过将两者的机械零件和驱动信号组合在一起