多轴位移台
A-HEX-90.6.60.60-XXX
A-HEX-90.6.60.60-XXX六自由度位移台(大中空版本)
串并联混合的TRIPOD结构,直线电机+光栅反馈,可实现三个直线和三个旋转方向的六轴位移运动,大中孔设计可走光路,带动光学负载实现六轴方向上的高精度的位移调节,应用于光学检测,同步辐射,高精度自动化领域。