A-HEX-10.6.100.100-XXX六由度位移台

串并联混合的TRIPOD结构，直线电机+光栅反馈，可实现三个直线和三个旋转方向的六轴位移运动，带动光学负载实现六轴方向上的高精度的位移调节，应用于光学检测，同步辐射，高精度自动化领域。