A-MiniSCAN系列主要特征

• 标配桌面级隔振系统

• 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台

• 驱动控制系统已嵌入整机架构中，无额外的控制箱

• 可根据客户要求选配定制照明及成像机构

• 可选配高精度测距模块，实现0.2um级别的自动对焦

可选标准控制软件，也有完整丰富快捷的二次开发包

适用于半导体检测圆晶的调整，光学检测，调节光路的应用场景。