VALI

产品详情
VAL系列运动平台是XiviTech一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化,采用非接触的气浮轴承与磁预载的结构,实现无摩擦的平滑运动,使VAL系列运动平台达到亚微米至纳米级的定位精度及重复定位精度。
产品参数

VAL I 的优点:
专为小型、高性能检测应用设计
分辨率可达0.1nm的直线编码器反馈
闭环分辨率可达0.5nm
全空气预载气浮导轨
低噪音无摩擦
高动态特性
Basic Model VALI025 VALI050 VALI100 VALI150
Total Travel 25 mm           50 mm         100 mm        150 mm        
Motor Type Brushless Linear Sevomotor
Feedback Noncontact Linear Encoder 0.5 nm - 10 nm
Maximum Speed 300 mm/s
Maximum Acceleration(no-load) 10 m/s2
Maximum Load 15 kg
Accuracy(with error compensation, temperature stabilized within 0.2°C)  ±0.2 µm ±0.2 µm ±0.3 µm ±0.5 µm
Repeatability ±50 nm
Straightness &Flatness ±0.25 µm ±0.4 µm
Pitch/Yaw ±0.25 arc sec ±0.5 arc sec ±1.0 arc sec ±1.25 arc sec
Minimum incremental motion Capacity -Standard :10nm   ,   -Optional: 1nm
Nominal Stage Mass 5 kg            6 kg            7 kg               13 kg              
Moving Mass 2 kg 4.5 kg
Operating Pressure 0.5 MPa ± 0.05 MPa
Air Consumption 0.8 SCFM
Material Aluminum
MTBF 20,000 hrs