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气浮转台

产品详情
VXT系列平台由直线交叉滚子轴承,直线电机,和一个非接触式线性编码器组成。该系列平台采用了中心驱动的方式,采用零齿槽效应的无铁芯电机,以确保平稳地控制速度并进一步提高运行精度。该系列平台具有高速高精度的优良性能。
产品参数

VXT130-XY Series
具有高度集成化的XY直线电机纳米平台
具有纳米级性能并且行程较长
高分辨率(1nm),高重复定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)
运动误差小,稳定精度高
具有抗蠕变特性