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气浮转台

产品详情
VZT系列垂直平移台可实现微米精度的垂直运动,为轻型或重型负载应用提供理想的解决方案。该平台精确、快速的定位能力可应用于半导体制造、激光加工、生物医疗等行业。
产品参数

VZT的优点:
1、在紧凑型设备中,具有30mm的垂直行程
2、垂直抗蠕动交叉滚子轴承,可实现无波纹运动以及卓越的轨迹精度

3、集成高精度线性编码器可实现较高重复性和高精度定位