VZT-I

产品详情
VZT系列垂直平移台可实现微米精度的垂直运动,为轻型或重型负载应用提供理想的解决方案。该平台精确、快速的定位能力可应用于半导体制造、激光加工、生物医疗等行业。
产品参数

VZT的优点:
1、在紧凑型设备中,具有30mm的垂直行程
2、垂直抗蠕动交叉滚子轴承,可实现无波纹运动以及卓越的轨迹精度

3、集成高精度线性编码器可实现较高重复性和高精度定位

Mechanical Specifications VZT-I-5 VZT-I-10 VZT-I-20 VZT-I-30
Travel 5 mm 10 mm 20 mm 30 mm
Accuracy ±0.75 µm ±0.75 µm ±1 µm ±1 µm
Repeatability (Bi-Directional)  ±0.1 µm  ±0.1 µm  ±0.15 µm  ±0.2 µm
Resolution(Minimum Incremental Motion)  0.1 um  0.1 um  0.1 um  0.1 um
Straightness & Flatness  ±1 µm  ±1 µm  ±2 µm  ±2 µm
Pitch 10 arc sec 10 arc sec 15 arc sec 20 arc sec
Yaw 10 arc sec 10 arc sec 15 arc sec 20 arc sec
Maximum Speed 10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s 10 mm/s
Maximum Acceleration (No Load) 5 m/s2  5 m/s2  5 m/s2  5 m/s2 
In-Position Stability <2 nm <2 nm <2 nm <2 nm
Maximum Force (Continuous) 80 N
 Center Load Capacity 4 kg
Stage Mass 2.5 kg 2.7 kg 3.0 kg 3.3 kg
Material Black Aluminum Body
MTBF(Mean Time Between Failure)  20,000 hours