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气浮转台

产品详情

A-ABRX-M200 系列是使用直驱旋转电机和空气轴承,无摩擦,使用圆光栅做为检测反馈,达到优异转台台面跳动及旋转精度。

适用于微小步距或者需要超精确旋转定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。应用领域:断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。

 

 气浮轴承100nm轴跳,端跳,直驱电机高精度转角运动

 使用中安静平稳、噪音极低

 有非常高的精度表现水平


产品参数