Z-STAGE 是一个紧凑型的Z轴直接驱动纳米位移台，具有高速能力。它可以与一个2轴纳米位移台组合使用，该位移台具有66×66毫米的开口（LF2/LFHS2），以获得一个 SPM3 或 SPM3LR。Z轴位移台的运动范围有5、10、25或50微米可选。
这个纳米位移台是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。