两轴平台
LFS2纳米位移台
LFS2 是一个2轴纳米定位器,提供在X和Y方向上100µm的行程,并具有40 x 40 mm的通孔。这个压电位移台可以与粗定位微位移台结合使用。它也可以配备快速20µm Z轴(见3轴型号 LFS3)。