LF3 是一个三轴纳米定位器，提供 100、200 或 300 微米的 X 和 Y 轴行程，50 微米的 Z 轴行程以及 66 x 66 毫米的大孔径。这个压电位移台可以与粗定位微位移台结合使用（见我们的 混合系统）。