LFHS3 是一款三轴超高速纳米定位器，提供沿 X 和 Y 方向 75 微米的行程，沿 Z 方向 50 微米的行程，66 x 66 毫米的大孔径，以及每个轴上的共振频率高于 1.5 千赫兹。这个压电位移台可以与粗定位微位移台结合使用（见我们的 混合系统）。

这个纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。使用高功率控制器可以实现高速扫描和响应时间短于2毫秒。