三轴平台
LTHS3纳米位移台
LTHS3 是一个三轴台(X,Y,Z),其运动范围在X和Y轴上可达75µm,在Z轴上可达50µm。由于其非常低的外形(22.3mm),这个纳米定位器很容易集成到倒置显微镜中,大多数情况下会与粗定位显微镜台一起使用(见我们的 混合系统)。
这个纳米定位器是我们高速产品线的一部分(提供高功率控制器)。