SPM3LR 位移台是一个三轴纳米定位器，提供在 X 和 Y 方向上的 100 微米、200 微米或 300 微米的行程范围。
SPM3LR 位移台的 Z 部分可以有 50 微米的行程范围，并提供市场上最高的速度能力，最大共振频率为 12.5 千赫。SPM3LR.xxx.05 在 Z 轴上的步响应时间可以小于一毫秒。
因此，SPM3LR 位移台特别适合于诸如原子力显微镜 (AFM) 等高要求的计量应用。

这个压电位移台可以与粗定位微位移台一起使用（见我们的 混合系统）。