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三轴平台

产品详情
NPXY60Z20-257是一款专为SPM类应用设计的小口径XYZ压电扫描台,整体外径仅为Φ70mm,并带有Φ20mm通孔。该平台结构紧凑,适用于原子力显微、各种SPM、光学显微、材料科学、光学显微等。
产品参数

Part Number 3715257
Footprint 30mm H X 70mm ∅
Aperture 20mm ∅
Material Aluminum
Maximum Load 1 kg
Nanomotion Control XYZ
Closed-loop Travel 60µm|60µm|20µm
Position Noise 0.4nm|0.4nm|0.2nm
Resonant Frequency 750Hz|750Hz|2000Hz
Settling Time 5ms|5ms|2ms
Linearity Deviation 0.03%|0.03%|0.05%
Controller LC.403