音圈快反镜FSM
非接触两维角度测量，用音圈电机做为驱动，两维运动，响应快，带载能力反射角度更大，兼容各种极端环境，1英寸，2英寸镜片
1镜面尺寸：≤60mm直径
2反射镜厚度，10mm，石英
3转角范围：±1.5°
4重复定位精度：2μrad
5角分辨率：≤2μrad
6带宽， 10Hz @±1°, 100Hz @±0.25mrad(2英寸镜片)
650Hz (-3dB) @1mrad（1英寸镜片）
7外形尺寸，不大于70mm*70mm*50mm（定制）
9通信接口，rs422或者usb口
9工作温度，-20～+40
10输入信号：模拟：±10V；数字信号