音圈快反镜FSM

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产品参数

音圈快反镜FSM
非接触两维角度测量,用音圈电机做为驱动,两维运动,响应快,带载能力反射角度更大,兼容各种极端环境,1英寸,2英寸镜片
1镜面尺寸:≤60mm直径
2反射镜厚度,10mm,石英
3转角范围:±1.5°
4重复定位精度:2μrad
5角分辨率:≤2μrad
6带宽, 10Hz @±1°, 100Hz @±0.25mrad(2英寸镜片)
650Hz (-3dB) @1mrad(1英寸镜片)
7外形尺寸,不大于70mm*70mm*50mm(定制)
9通信接口,rs422或者usb口
9工作温度,-20~+40
10输入信号:模拟:±10V;数字信号